晶圓片托架的落座檢測。
通過與導槽并用的方式設定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂。
獨有的光學系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調光方式E5ER-Q43B-FLK原理及應用。
使用環(huán)保導線（無滑石粉）。尺寸：48×96mm。
種類：電源AC/DC24V用。
外殼顏色：黑色。
控制輸出1：位置比例用繼電器輸出E5ER-Q43B-FLK
控制輸出2：位置比例用繼電器輸出。
控制模式：位置比例控制。
輔助輸出點數：2點。
事件輸入點數：4點。
傳送輸出：傳送輸出（專用端子）E5ER-Q43B-FLK原理及應用。
遠程SP：4～20mA輸入。
通信：--。
通用溫控器新增（高分辨率、高速、輸入）型產品。
支持簡易運算、預防維護。
采用可通過紅外線端口從前面進行通信的新型液晶，
可視角度、對比度得以提升。
高分辨率5位顯示/可顯示0.01°C。
高速采樣周期60ms。
全部機型完整多種（能夠熱電偶/Pt/模擬輸入切換），1臺機器支持多種傳感器。
還支持遠程SP。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控器的狀態(tài)（自動/手動、RUN/STOP、報警發(fā)生），
可交互顯示PV/SV。
通過支持軟件（CX-Thermo Ver.4.0）進行簡易運算功能（AND/OR邏輯和障E5ER-Q43B-FLK原理及應用。
備有位置比例型。E3F3-T86M檢測方式：對射型，
導線引出式：M12 CN，
類型：金屬外表；PNP輸出，
螺紋柱狀光電傳感器，放大器內置，
具備接近傳感器外觀的光電傳感器
具有光電-IC技術的高抗干擾性尺寸：48×96mm。
種類：鉑電阻型。
調節(jié)模式：ON/OFF動作或PID動作。
警報：單報警報。
輸出：繼電器輸出。
帶單報警輸出的溫度控制器。
可同時顯示SV與PV。
多重溫度范圍允許設定佳溫度范圍。
保護功能可以防止操作上的錯誤。尺寸：48×48mm，端子臺型。
種類：控制輸出1點型（電源AC/DC24V用）。
外殼顏色：黑色。
控制輸出：電壓輸出（SSR驅動用）。
控制模式：標準或加熱冷卻。
輔助輸出點數：2點。
加熱器斷線、 SSR故障檢測功能：--。
事件輸入點數：--。
傳送輸出：--。
通信：--。
新增程序型。
采用大256段程序容量，較高性價比的新型液晶，
可視角度、對比度得以提升。
可設定多8個程序（模式）×32段（步）的程序。
高分辨率的5位顯示/可顯示0.01°C（實現了48×48mm的小尺寸）。
高速采樣周期60ms。
全部機型完整多種（能夠熱電偶/Pt/模擬輸入切換），
1臺機器支持多種傳感器。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控器的狀態(tài)
（自動/手動、RRUN/RESET、報警發(fā)生），
可交互顯示PV/SVE5ER-Q43B-FLK用戶手冊。
通過支持持軟件（CX-Thermo Ver.4.3），
在簡易運算功能（AND/OR邏輯和）E5ER-Q43B-FLK用戶手冊。
設定中輕松設定能夠執(zhí)行柔性的接點輸出的程序設定。
控制輸出ON/OFF次數計數功能可預測溫控器內部繼電器的故障。