晶圓片托架的落座檢測。
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強的氟素樹脂。
獨有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式E5CN-HR2H01-W-FLK手冊。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）。名稱：濕度傳感器模塊。
緊湊尺寸，實現(xiàn)了正負3%的濕度檢測精度。
與控制器配套使用，可有效控制溫度、
濕采用耐久性佳的高分子電阻式傳感器E5CN-HR2H01-W-FLK
設(shè)計緊湊、 輕量。
測量范圍為濕度20～95%、 溫度0～＋55°CE5CN-HR2H01-W-FLK手冊。尺寸：22.5×96mm。
控制輸出：電壓輸出(用于驅(qū)動SSR)。
輔助輸出點數(shù)：2點。
HB報警和HS報警：單相加熱器檢測。
事件輸入點數(shù)：--。
通信：RS-485。
電源電壓：AC/DC24V。
小巧機體設(shè)計，顯示字體較大，即使在一段距離之外也能清晰讀數(shù)，
從而顯著降低了人工讀數(shù)出錯的風(fēng)險。
溫控器采用緊湊設(shè)計風(fēng)格，
因此對控制柜內(nèi)安裝空間的要求較低(60mm)，
即使安裝空間較為狹小，
亦可輕松快速地實現(xiàn)卡入式安裝。
同時融入了歐姆龍的PID控制專利，
使其溫度控制的性達到了新的標準，
其50ms的采樣周期也使溫度控制的迅捷性上升了一個臺階。具有更大的傳感距離的安全安裝。
尺：39(59)E5CN-HR2H01-W-FLK手冊。
輸出形式：NPN。
動作模式：NC。控制輸出：線性電流輸出。
輔助輸出：--。
加熱斷線、SSR故障檢測功能：--。
事件輸入：--。
通信：RS-485。
端子形狀：螺釘端子臺型(主單元+端子單元)。
電源電壓：AC100～240V。
E5□C系列的操作性、維持原狀適合連接觸摸屏/PLC和溫控器的系統(tǒng)的DIN導(dǎo)軌安裝型。
進深85mm×寬22.5mm的DIN導(dǎo)軌安裝型，收納于薄型控制柜內(nèi)的纖細機身。
采用端子臺拆裝結(jié)構(gòu)，可輕松更換，提高了維護性。
通過50ms的高速采樣，適用于高速升溫的用途。
通過無程序通信輕松與PLC相連。
使用通信轉(zhuǎn)換電纜(另售)與計算機相連后，無需電源接線即可
設(shè)定。也可通過CX-Thermo(另售)輕松設(shè)定。
帶輔助輸出(大2點)、事件輸入(大1點)，基本功能齊全。
柜內(nèi)啟動時或異常時的確認簡單，醒目的白色PV顯示
(PV高8.5mm)。尺寸：48×96mm。
本體：端子臺型，溫度輸入型。
種類：控制輸出1點型（電源AC100～240V用）。
外殼顏色：黑色。
控制輸出：電壓輸出（SSR驅(qū)動用）。
控制模式：標準或加熱冷卻。
輔助輸出點數(shù)：3點。
加熱器用斷線、SSR故障、加熱器過電流檢測功能/ES1B用電源：單相或三相加熱器用檢測功能。
事件輸入點數(shù)：--。
傳送輸出：--。
通信：--。
96mm、48×96mm見方的通用溫控器已升級＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了預(yù)防維護功能，性能進一步提升。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控器的狀態(tài)
（自動/手動、、RUN/STOP、報警發(fā)生），可交互顯示PV/SSVE5CN-HR2H01-W-FLK解決方案指南手冊E5CN-HR2H01-W-FLK解決方案指南手冊。
增加控制輸出ON/OFF次數(shù)計數(shù)功能，可預(yù)防維護溫控器內(nèi)部繼電器。
增加了3段顯示，可同時顯示易于理解的當(dāng)前值/目標值/操作量。
增加了PF鍵，分配自動/手動、RUN/STOP等，可實現(xiàn)一鍵操作。